氮化鋁造粒粉由微米粉噴霧造粒而成,含有粘結劑及燒結助劑,可直接壓制成形。鉅瓷科技的氮化鋁造粒粉具有良好的流動性、高燒結活性,以及高純度、高強度的特點,可用于制作氮化鋁加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷等各種半導體設備部件。
產品特性
高純度
High Purity
即時壓制
Ready for press
高強度
High strength
高燒結活性
High sintering activity
良好流動性
High fluidity
技術參數

項目Item | GS-80 | GS-B | KS-80 | |
平均粒徑Mean particle size (μm) | 70~120 | 70~120 | 60~100 | |
顆粒形狀Particle shape | 球形 | 球形 | 球形 | |
流動性Fluidity(s/50g) | <90 | <90 | <90 | |
Y?O? (wt%) | ~5 | <0.1 | ~5 | |
雜質含量Impurity | Ca (ppm) | <300 | <300 | <300 |
Si (ppm) | <100 | <100 | <200 | |
Fe (ppm) | <30 | <30 | <100 | |
松裝密度Bulk density(g/cm3) | 1.0~1.2 | 1.0~1.2 | 1.0~1.2 | |
振實密度Tap density(g/cm3) | 1.0~1.3 | 1.0~1.3 | 1.0~1.3 | |
生坯密度Green density (g/cm3) | 2.05~2.10 | 2.0~2.05 | 2.05~2.10 | |
成形工藝

脫脂工藝

200℃前3℃/ min ,400℃前2℃/ min,500℃前5℃/ min ,保溫2小時。
燒結溫度1830~1900℃,保溫時間3~5 hrs,流動氮氣,0.1MPa
產品應用
壓制陶瓷原料:加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷
