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高純氮化鋁造粒粉

氮化鋁造粒粉由微米粉噴霧造粒而成,含有粘結劑及燒結助劑,可直接壓制成形。鉅瓷科技的氮化鋁造粒粉具有良好的流動性、高燒結活性,以及高純度、高強度的特點,可用于制作氮化鋁加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷等各種半導體設備部件。

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產品特性

高純度

High Purity

1

即時壓制

Ready for press

2

高強度

High strength

3

高燒結活性

High sintering activity

4

良好流動性

High fluidity

5

技術參數

項目Item

GS-80

GS-B

KS-80

平均粒徑Mean particle size (μm)

70~120

70~120

60~100

顆粒形狀Particle shape

球形

球形

球形

流動性Fluidity(s/50g)

<90

<90

<90

Y?O? (wt%)

~5

<0.1

~5

雜質含量Impurity

Ca (ppm)

<300

<300

<300

Si (ppm)

<100

<100

<200

Fe (ppm)

<30

<30

<100

松裝密度Bulk density(g/cm3)

1.0~1.2

1.0~1.2

1.0~1.2

振實密度Tap density(g/cm3)

1.0~1.3

1.0~1.3

1.0~1.3

生坯密度Green density (g/cm3)

2.05~2.10

2.0~2.05

2.05~2.10

成形工藝



脫脂工藝


200℃前3℃/ min ,400℃前2℃/ min,500℃前5℃/ min ,保溫2小時。

燒結溫度1830~1900℃,保溫時間3~5 hrs,流動氮氣,0.1MPa

產品應用

壓制陶瓷原料:加熱器/靜電吸盤/刻蝕防護罩/熱壓氮化鋁陶瓷


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